Trung Quốc công bố tiêu chuẩn máy tạo Ozone cấp bán dẫn đầu tiên, thúc đẩy ngành công nghiệp thiết bị bán dẫn trong nước

Ngành công nghiệp bán dẫn Trung Quốc đã đạt được một cột mốc quan trọng với việc chính thức ban hành và triển khai tiêu chuẩn nhóm đầu tiên của đất nước dành cho máy tạo ozone cấp bán dẫn. Được ban hành vào ngày 9 tháng 12 năm 2025, "Yêu cầu kỹ thuật đối với máy tạo Ozone cấp bán dẫn" (T/CIET 1946-2025) do Qingdao Guolin Semiconductor Technology Co., Ltd. chủ trì phối hợp với 17 doanh nghiệp hàng đầu trong chuỗi cung ứng chất bán dẫn.

Tiêu chuẩn mang tính bước ngoặt này lấp đầy khoảng trống quan trọng về thông số kỹ thuật trong nước đối với thiết bị ozone dùng trong sản xuất chất bán dẫn và màn hình hiển thị. Máy tạo ozone đóng vai trò không thể thiếu trong các quy trình bán dẫn quan trọng bao gồm lắng đọng màng mỏng, làm sạch tấm bán dẫn và loại bỏ chất quang dẫn, trong đó hiệu suất kỹ thuật và độ tin cậy của chúng ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất chế tạo chip.

Công nghệ Máy Ozone đã trở nên thiết yếu trong các nhà máy bán dẫn hiện đại, nơi yêu cầu về độ sạch bề mặt đã đạt đến độ chính xác ở cấp độ nguyên tử. Thử nghiệm gần đây trong phòng thí nghiệm chứng minh rằng hệ thống làm sạch bằng ozone bằng tia cực tím tiên tiến có thể làm giảm các chất gây ô nhiễm hữu cơ trên tấm silicon từ 50nm xuống chỉ còn 0,5nm, đạt được hiệu quả làm sạch cải thiện gấp 100 lần so với các phương pháp truyền thống. Mức độ chính xác này rất quan trọng khi ngành công nghiệp tiến tới các nút quy trình 5nm và 3nm.

Máy tạo Ozone công nghiệp được thiết kế cho các ứng dụng bán dẫn sử dụng phương pháp phóng điện vầng quang hoặc tia cực tím để tạo ra nồng độ ozone chính xác phù hợp với yêu cầu sản xuất cụ thể. Không giống như các quy trình làm sạch ướt thông thường dựa vào axit sulfuric và hydro peroxide—có thể để lại dư lượng hóa chất và tạo ra nước thải đáng kể—làm sạch bằng ozone cung cấp giải pháp thay thế khô, không có cặn và phân hủy tự nhiên thành oxy sau khi sử dụng.

Tiêu chuẩn mới được thành lập được phát triển thông qua sự hợp tác sâu rộng với sự tham gia của các công ty chủ chốt trong ngành bao gồm Công ty Thiết bị vi điện tử Bắc Huachuang Bắc Kinh, Công ty HuaHai Qingke, Thiết bị bán dẫn Tuojing và Thiết bị bán dẫn Shengmei, cùng nhiều công ty khác. Sự tham gia rộng rãi trong ngành này đảm bảo tính nghiêm ngặt về mặt khoa học, khả năng ứng dụng và tính đại diện của tiêu chuẩn trên toàn hệ sinh thái bán dẫn.

Các ứng dụng của Máy khử trùng bằng Ozone không chỉ dừng lại ở việc làm sạch tấm bán dẫn mà còn bao gồm các quy trình oxy hóa nâng cao để loại bỏ các chất ô nhiễm hữu cơ khỏi thiết bị và cơ sở sản xuất chất bán dẫn. Công nghệ này loại bỏ hiệu quả dư lượng chất cản quang, dấu vết dung môi hữu cơ và các chất gây ô nhiễm phân tử trong không khí có thể ảnh hưởng đến năng suất chip.

Nỗ lực tiêu chuẩn hóa, bắt đầu với việc phê duyệt dự án vào tháng 3 năm 2025 và kết thúc với lần phát hành cuối cùng vào tháng 12 năm 2025, thiết lập các thông số kỹ thuật toàn diện và các tiêu chuẩn về độ tin cậy cho thiết bị tạo ozone. Điều này cung cấp cho các nhà sản xuất chất bán dẫn các tiêu chí rõ ràng, có thể định lượng để lựa chọn thiết bị và xác nhận quy trình.

Các nhà phân tích ngành dự đoán rằng thị trường máy tạo ozone toàn cầu sẽ đạt 2,36 tỷ USD vào năm 2030, tăng trưởng với tốc độ CAGR là 8,0%, một phần nhờ tăng đầu tư vào cơ sở hạ tầng sản xuất chất bán dẫn và nhu cầu về các giải pháp làm sạch tiên tiến. Tiêu chuẩn mới của Trung Quốc giúp các nhà sản xuất trong nước cạnh tranh hiệu quả hơn trên thị trường đang mở rộng này, đồng thời hỗ trợ sáng kiến ​​quốc gia rộng lớn hơn nhằm tăng cường năng lực thiết bị bán dẫn trong nước.

Trong tương lai, việc triển khai tiêu chuẩn này dự kiến ​​sẽ đẩy nhanh việc áp dụng máy tạo ozone sản xuất trong nước trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn của Trung Quốc, giảm sự phụ thuộc vào thiết bị nhập khẩu trong khi vẫn đảm bảo chất lượng và hiệu suất ổn định. Khi ngành công nghiệp bán dẫn tiếp tục mở rộng nhanh chóng, công nghệ ozone tiêu chuẩn hóa sẽ đóng vai trò ngày càng quan trọng trong việc tạo ra môi trường sản xuất chính xác, không nhiễm bẩn cần thiết cho sản xuất chip thế hệ tiếp theo.